文献综述
文 献 综 述一．课题研究背景及意义扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscopy , SPM)，是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜的统称。
1982年美国IBM公司的G.Binning和H.Rohner发明了扫描隧道显微镜(STM)[1]，并于1986年获得诺贝尔奖。
四年之后,Binnng，C.F.Quate和C.Gerber发明了原子力显微镜(AFM)[2]。
以STM 和 AFM为基础，衍生出了多种类型的扫描探针显微镜(SPM)[3]。
白春礼院士将SPM比作纳米的眼和手[4]，具有高精度(原子级)观测和纳米操纵制造功能。
扫描探针显微镜已经在纳米科技、材料科学、信息技术、化学、生物等领域中得到广泛的应用。
为解决目前常用的单探针SPM检测面积小, 扫描速度低, 检测效率也较低的问题并提高SPM的检测效率 、扩大检测面积,于是提出了多探针并行检测系统。
光刻技术长期以来一直是微米纳米尺度加工制造的卡脖子技术,特别是在半导体工业中。
在过去的几十年里,光刻技术已经取得了巨大的成就,它也成功地推动了纳米技术的发展。
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