文献综述
1.课题研究背景介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge, DBD)可在大气压下产生大面积非平衡等离子体，具有高电子温度和低气体温度的特点[1]。
由于DBD中的介质材料可以有效阻止放电转化成弧光，DBD等离子体与电晕、火花、弧光等其他大气压非平衡等离子体相比具有均匀稳定性好和能量密度适中的优点，更适合各种工业应用，比如废气处理、废水处理、生物医学应用、表面改性等 [2-3]。
但是在大气压下，DBD通常表现为流注放电模式，这是一种不均匀的放电模式，会产生能量密度过大的放电细丝而灼伤物料，限制了其工业应用前景。
自1987年，日本学者Kanazawa在大气压下含有氦气的混合气体DBD实验中首次用肉眼观察到了稳定的均匀放电[4]，人们才认识到大气压下实现均匀放电的可能。
之后人们尝试了在各种气体中实现大气压DBD均匀放电，并意识到在惰性气体中大气压DBD更加均匀[5]。
这是因为惰性气体在电场中受高能电子碰撞生成亚稳态粒子，亚稳态粒子又与杂质发生潘宁电离产生大量种子电子，为均匀放电提供了条件[6]。
随着研究的深入，研究者发现大气压DBD的均匀放电依然较难实现，并且很依赖外界条件。
在众多影响因素中，电源类型对大气压DBD均匀性的影响最大[7]。
用于大气压DBD的电源一般有两种，高频正弦电源与纳秒脉冲电源。
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